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一种金属薄膜材料杨氏模量测试结构，其特征在于该测试结构由五部分组成：带测微游标的第一热膨胀力源(101)；带测微游标的第二热膨胀力源(102)；待拉伸金属构件(103)；双端固支梁(104)；加载驱动电流的第一锚区(100‑1)和加载驱动电流的第二锚区(100‑2)；其中，带测微游标的第一热膨胀力源(101)、带测微游标的第二热膨胀力源(102)和双端固支梁(104)均采用已知杨氏模量和残余应力的多晶硅材料制作；带测微游标的第一热膨胀力源(101)、带测微游标的第二热膨胀力源(102)、待拉伸金属构件(103)、双端固支梁(104)和加载驱动电流的第一锚区(100‑1)、加载驱动电流的第二锚区(100‑2)的连接关系如下：带测微游标的第一热膨胀力源(101)的第一上水平长梁(101‑1)、第一下水平长梁(101‑2)的左端分别连接到加载驱动电流的第一锚区(100‑1)、加载驱动电流的第二锚区(100‑2)；带测微游标的第二热膨胀力源(102)的第二上水平长梁(102‑1)、第二下水平长梁(102‑2)的右端分别连接到加载驱动电流的第一锚区(100‑1)、加载驱动电流的第二锚区(100‑2)；带测微游标的第一热膨胀力源(101)中的第一竖直宽梁(101‑3)与待拉伸金属构件(103)中的金属竖直宽梁(103‑3)叠合连接，带测微游标的第二热膨胀力源(102)中第二水平运动的动齿(102‑4)左端垂直连接在双端固支梁(104)中竖直长梁(104‑3)的中心位置；带测微游标的第一热膨胀力源(101)、带测微游标的第二热膨胀力源(102)、待拉伸金属构件(103)的轴线重合并且通过双端固支梁(104)的中心；所述待拉伸金属构件(103)包括一个待拉伸金属构件锚区(103‑1)、一根金属水平细条(103‑2)、一个金属竖直宽梁(103‑3)；金属水平细条(103‑2)左端与待拉伸金属构件锚区(103‑1)相连形成固定端，金属水平细条(103‑2)右端与金属竖直宽梁(103‑3)垂直连接形成拉伸端；所述双端固支梁(104)由上锚区(104‑1)、竖直长梁(104‑3)、下锚区(104‑2)依次连接而成，竖直长梁(104‑3)的中部接第二水平运动的动齿(102‑4)；加载驱动电流的锚区有两个，分别是加载驱动电流的第一锚区(100‑1)、加载驱动电流的第二锚区(100‑2)，用于连接带测微游标的第一热膨胀力源(101)和带测微游标的第二热膨胀力源(102)并注入驱动电流。 |
