一种磁控蒸发多功能卷绕镀膜机

摘要

本发明涉及一种磁控蒸发多功能卷绕镀膜机，包括真空腔室，在所述真空腔室的两端设置用于维持所述真空腔室内高真空环境的真空抽气系统，在所述真空腔室的底部通过法兰与蒸发组件连接，在所述真空腔室的内部还设置带有柔性卷绕基材的卷绕镀膜工作系统；利用本发明中的平面靶可以单独进行磁控镀膜、利用本发明中的蒸发组件可以单独进行蒸发镀膜，同时本发明也可以同时进行磁控镀膜及蒸发镀膜，由此避免以往为了实现不同镀膜方法而更换镀膜机器，导致未镀膜完成的膜层暴露在空气中造成的影响涂层结合力及成份的问题。

主权项

一种磁控蒸发多功能卷绕镀膜机，其特征在于：包括真空腔室(2)，在所述真空腔室(2)的两端设置用于维持所述真空腔室(2)内高真空环境的真空抽气系统(1)，在所述真空腔室(2)的底部通过法兰与蒸发组件(3)连接，在所述真空腔室(2)的内部还设置带有柔性卷绕基材的卷绕镀膜工作系统；所述蒸发组件(3)采用感应式蒸发、电阻式蒸发或电子束蒸发中的任意一种，以实现待镀材料向上蒸发后以气态沉积至真空腔室(2)内的柔性卷绕基材的表面；所述卷绕工作系统包括第一收放辊(6)及第二收放辊(7)，所述第一收放辊(6)及第二收放辊(7)自上而下均通过需要镀膜的同一组柔性卷绕基材顺序连接第一导向辊(801)、张力辊(9)、第二导向辊(802)、第三导向辊(13)后与镀膜辊(11)连接；沿所述镀膜辊(11)的外周，在所述真空腔室(2)内还设置多个平面靶(10)。