| 发明名称 | 薄膜的平坦化方法、平坦化薄膜的形成方法以及薄膜形成用清漆 | ||
| 摘要 | 本发明提供薄膜的平坦化方法、平坦化薄膜的形成方法、以及在这些方法中使用的薄膜形成用清漆。上述薄膜的平坦化方法包括在使用含有有机化合物和有机溶剂的薄膜形成用清漆来形成薄膜之时，使上述清漆的流动活化能为28kJ/mol以下。 | ||
| 申请公布号 | CN106463632A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201580028737.7 | 申请日期 | 2015.05.27 |
| 申请人 | 日产化学工业株式会社 | 发明人 | 大谷直树 |
| 分类号 | H01L51/50(2006.01)I;C09D201/00(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I | 主分类号 | H01L51/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 王永红 |
| 主权项 | 薄膜的平坦化方法，其特征在于，在使用含有有机化合物和有机溶剂的薄膜形成用清漆来形成薄膜之时，使上述清漆的流动活化能为28kJ/mol以下。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||