具有集成传感器的化学机械抛光保持环

摘要

本文中提供一种用于化学机械抛光承载头的保持环，具有用于基板的固定表面。在一些实施方式中，该保持环可以包括具有开口的环形主体、被形成在该主体中的通道，其中该通道的第一端邻近该开口；以及被设置在该通道内并邻近该第一端的传感器，其中该传感器配置为检测来自在该基板上进行的工艺的声波及/或振动发射。

主权项

一种用于承载头的保持环，具有用于基板的固定表面，包含：环形主体，所述环形主体具有中央开口；通道，所述通道被形成在所述主体中，其中所述通道的第一端邻近所述中央开口；以及传感器，被设置在所述通道内并邻近所述第一端，其中所述传感器配置为检测来自在所述基板上进行的工艺的声波及/或振动发射。