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发明名称
SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
摘要
기판 처리 시스템은 복수의 기판들을 적재하는 기판 적재부, 상기 기판 적재부로부터 N(N은 2보다 크거나 같은 자연수) 개의 기판들을 동시에 이송하는 기판 이송부, 및 상기 기판 이송부로부터 상기 N개의 기판들을 동시에 제공받아 처리하는 복수의 프로세스 챔버들을 포함하는 기판 처리부를 포함하고, 상기 각각의 프로세스 챔버는, 상기 N개의 기판들이 안착되는 스테이지 및 상기 N개의 기판들 사이에 배치되는 절연층을 포함한다.
申请公布号
KR20170019564(A)
申请公布日期
2017.02.22
申请号
KR20150113457
申请日期
2015.08.11
申请人
삼성디스플레이 주식회사
发明人
신동석;송봉섭
分类号
H01L21/677;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/683
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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