IMAGE SENSOR HAVING A FIXED CHARGE FILM

摘要

기판 내에 형성된 광전 변환부들, 상기 기판의 표면으로부터 상기 광전 변환부들 사이로 연장하는 픽셀 분리 트렌치, 상기 기판의 상기 표면 상에 직접적으로 형성된 제1 고정 전하막, 상기 제1 고정 전하막 및 상기 분리 트렌치의 내벽 상에 직접적으로 형성된 제2 고정 전하막 및 상기 제2 고정 전하막 상에 직접적으로 형성되어 상기 픽셀 분리 트렌치를 채우는 절연층을 포함하는 이미지 센서가 설명된다.