EUV Light Generator Having a Droplet Generator Configured To Control a Droplet Position Using a Magnetic Field

摘要

드롭릿 노즐, 상기 드롭릿 노즐에 감긴 중앙 코일을 포함하는 중앙 전자석, 및 상기 중앙 전자석의 주변의 사이드 전자석들을 포함하는 드롭릿 발생부를 포함하는 EUV 광 발생 장치가 설명된다.