| 摘要 |
본 발명은, 반도체나 MEMS·마이크로 머신 어플리케이션 분야에 있어서, 경화물의 잔류 응력이 매우 낮고, 습열 시험 후의 Pt, LT 및 Ta 등의 금속 기판과의 밀착성이 우수한 수지 조성물 및/또는 그 적층체, 그리고 그 경화물을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명은, (A) 에폭시 수지, (B) 페놀성 수산기를 갖는 화합물 및 (C) 광 카티온 중합 개시제를 함유하는 감광성 수지 조성물로서, (A) 에폭시 수지의 가중 평균 에폭시 당량이 300 g/eq. 이상이고, 또한, 그 (A) 에폭시 수지의 20 질량％ 이상이, 하기 식 (1)로 나타내고, 또한 에폭시 당량이 500 ∼ 4500 g/eq. 인 에폭시 수지이고, 그 (B) 페놀성 수산기를 갖는 화합물이, 특정 구조의 페놀 화합물을 함유하는 감광성 수지 조성물이다. |
