发明名称 AP Method for detecting a unique portion and Method for setting an address point of a measuring apparatus using the same
摘要 특이 부분(unique portion)의 검출 방법 및 이를 이용한 측정 장치의 AP 설정 방법이 제공된다. 상기 측정 장치의 AP 설정 방법은 설계 데이터를 이용하여 오리지널 이미지를 생성하고, 상기 오리지널 이미지를 단순화하여 심플 이미지를 생성하고, 상기 심플 이미지에서 특이 부분을 확인하고, 상기 특이 부분을 포함하는 일정 영역을 AP로 설정하는 것을 포함한다.
申请公布号 KR20170019236(A) 申请公布日期 2017.02.21
申请号 KR20150113387 申请日期 2015.08.11
申请人 삼성전자주식회사 发明人 조형준
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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