| 摘要 |
(과제) 장척 기판을 길이 방향으로 반송하면서 드럼에 걸어 감아 기판의 표면에 막을 형성할 때에, 드럼에 전위를 인가하여 성막을 행하는 경우에도, 기판이 드럼에 걸려 감기기 시작하는 위치 및 기판이 드럼으로부터 이간되는 위치를 포함하는 공간에서의 드럼으로부터의 이상 방전을 억제하고, 이로써 고품질의 막을 효율적으로 연속 성막할 수 있고, 또한 기판이나 성막 장치의 손상을 방지할 수 있는 성막 방법을 제공한다. (해결 수단) 기판이 드럼에 걸려 감기기 시작하는 위치 및 기판이 드럼으로부터 이간되는 위치 중 적어도 한쪽을 포함하는 공간인 걸어 감는 공간을 포함하는 실과 상기 성막실 사이에, 두 실에 연통하는 차압실을 배치하고, 상기 걸어 감는 공간의 압력을 성막실보다 낮은 압력으로 함으로써 상기 과제를 해결한다. |
