Apparatus for transferring substrate

摘要

본 발명은 기판을 안착하는 트레이와, 트레이의 하측에 마련되며 트레이를 자기 부상시키고 자기력에 의해 이송시키는 자기 이송 유닛과, 트레이의 상측에 마련되어 트레이의 이송을 가이드하는 가이드 유닛을 포함하는 기판 이송 장치를 제시한다.