发明名称 GRAPHENE FLUORINATION FOR INTEGRATION OF GRAPHENE WITH INSULATORS AND DEVICES
摘要 본 개시 내용의 실시예들은 플루오르화 그래핀의 층을 포함하는 다층 그래핀 어셈블리들, 그런 구조체들을 포함하는 다이들 및 시스템들뿐만 아니라, 제조 방법들을 기술한다. 플루오르화 그래핀은 비플루오르화 그래핀 층들의 바람직한 특성을 유지하면서 절연 인터페이스를 다른 그래핀 층들에 제공한다. 어셈블리들은 집적 회로 디바이스에서 그래핀을 이용하고 그래핀을 다른 재료들과 인터페이스하기 위한 새로운 옵션들을 제공한다. 다른 실시예들이 설명되고/되거나 청구될 수 있다.
申请公布号 KR20170019338(A) 申请公布日期 2017.02.21
申请号 KR20167030578 申请日期 2014.06.13
申请人 인텔 코포레이션 发明人 카우디요, 로만;아브지, 우가
分类号 H01L21/02;H01L23/532;H01L29/51;H01L29/66 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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