| 摘要 |
압력-조절형 유체 저장 및 분배 용기를 포함하는 유체 공급 패키지가 설명되며, 해당 용기는 유체 분배 유동 경로, 및 용기로부터 분배되는 유체의 압력 안정화를 위해서 유동 경로로부터 유체를 가역적으로 흡착하도록 그러한 유동 경로 내에 배치되거나 유동 경로와 유체 연통되는 흡착제를 포함한다. 유체 유동 경로 내의 유체를, 유체의 분배 중에 유체를 가역적으로 이에 흡착할 수 있는 흡착제와 접촉시키는 것에 의해서, 유체 공급 패키지 내의 유체 유동 경로를 통한 유체의 분배 중에 유체 압력을 안정화시키는, 상응하는 방법이 개시된다. 압력 관리 흡착제를 이용하는 그러한 접근 방식은 유체 분배 중에 유체 압력을 안정화시키고, 유체 분배의 개시 중에 또는 후속되는 압력 분배의 실시 중에 발생될 수 있는 압력 진동을 해결한다. |
