METHOD OF CONTROLLING THE ELECTRONIC STRUCTURE OF TWO-DIMENSIONAL MATERIALS VIA PLASMA ADSORPTION AND DESORPTION

摘要

본 발명은 이차원 물질(two dimensional material) 상에 할로겐 원소 또는 산소로 플라즈마 흡착하는 단계; 및 상기 이차원 물질 상에 수소로 플라즈마 처리를 하여 상기 수소가 상기 할로겐 원소 또는 상기 산소와 결합하여 화합물을 만들어 상기 이차원 물질의 표면으로부터 상기 할로겐 원소 또는 상기 산소를 탈착하는 단계;를 포함하는 이차원 물질의 전자 구조 조절법을 제공한다.