METHOD FOR COATING A SUBSTRATE AND COATER

摘要

하나 이상의 캐소드 조립체(10)를 구비하는 기판(100)을 코팅하는 방법이 제공된다. 캐소드 조립체는 내부에 위치하는 하나 이상의 자석 조립체(25)를 구비하는 회전가능한 타겟(20)을 갖는다. 상기 방법은 상기 하나 이상의 자석 조립체가 미리결정된 제 1 시간 간격 동안 상기 기판으로부터 수직하게 상기 회전가능한 타겟의 축(21)으로 연장되는 평면(22)에 대해 비대칭으로 정렬되도록 제 1 위치에 상기 하나 이상의 자석 조립체를 위치시키는 단계를 포함한다. 이러한 방법은 미리결정된 제 2 시간 간격 동안 상기 평면에 대해 비대칭으로 정렬되는 제 2 위치에 상기 하나 이상의 자석 조립체를 위치시키는 단계와, 코팅되는 동안의 시간에 걸쳐서 변화되는 회전가능한 타겟에 전압을 제공하는 단계를 더 포함한다. 다른 양상에 의하면, 회전가능한 곡선형 타겟을 구비하는 하나 이상의 캐소드 조립체와, 그리고 상기 하나 이상의 캐소드 조립체의 상기 회전가능한 곡선형 타겟 내에 위치되는 2개의 자석 조립체를 포함하는 기판을 코팅하기 위한 코팅 장치가 제공된다.