Sputtering Apparatus

摘要

스퍼터링 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 스퍼터링 장치는, 샘플에 박막을 형성시키는 작업이 이루어지는 챔버; 샘플에 박막을 형성시키기 위한 타겟이 구비되며, 챔버의 일측에 결합되는 스퍼터 건 유닛; 및 챔버의 일측에 슬라이딩 이동 가능하게 결합되며, 샘플을 챔버의 내부로 투입시키는 슬라이딩 투입유닛을 포함한다.