| 摘要 |
본 발명은 기판 결함 리페어 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 기판 결함 리페어 장치는 기판 상의 결함부위를 확대하여 도시하도록 하는 광학유닛 및 상기 결함부위를 채우는 용액을 분사하는 노즐유닛을 포함하며, 상기 노즐유닛은 상기 용액이 수용되는 챔버, 상기 용액이 토출되는 토출부, 상기 챔버에 수용된 용액을 가압하여 상기 토출부를 통해 토출되도록 하는 가압부 및 상기 토출부를 진동시켜 상기 토출되는 용액을 미세 액적으로 분해하도록 하는 진동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
