| 摘要 |
산화물 스퍼터링 타깃재의 본딩 작업 공정이나 스퍼터링 공정에 있어서의 열취급에 기인하는 균열의 발생을 억제할 수 있는 산화물 스퍼터링 타깃재를 제공한다. 금속 성분이, Sn을 20∼50원자％ 함유하고, 잔부가 Zn 및 불가피적 불순물로 이루어지는 조성을 갖고, 22℃∼400℃에 있어서의 굽힘 파단 변형률이 0.24％ 이상이거나, 또는 200℃에 있어서의 항절력이 130㎫ 이상인 산화물 스퍼터링 타깃재이며, 상대 밀도의 평균값은 98.5％ 이상인 것이 바람직하고, 그 변동은 0.3％ 이하인 것이 더욱 바람직하다. |
