| 摘要 |
Un método para determinar al menos un parámetro relacionado con partículas cargadas emitidas desde una muestra emisora de partículas (11), que comprende las etapas de: formar un haz de partículas de dichas partículas cargadas y transportar las partículas entre dicha muestra emisora de partículas (11) y una entrada (8) de una región de medición (3) por medio de un sistema de lentes (13) que tiene un eje óptico sustancialmente recto (15); desviar el haz de partículas en al menos una primera dirección de coordenadas (x, y) perpendicular al eje óptico del sistema de lentes antes de la entrada del haz de partículas en la región de medición, detectar las posiciones de dichas partículas cargadas en dicha región de medición, siendo las posiciones indicativas de dicho al menos un parámetro, en donde la detección de las posiciones de las partículas cargadas implica la detección de las posiciones en dos dimensiones, una de las cuales es indicativa de las energías de las partículas y una de las cuales es indicativa de las direcciones de partida de las partículas, caracterizado por que el método comprende además la etapa de desviar el haz de partículas en la misma al menos primera dirección de coordenadas (x, y) al menos una segunda vez antes de la entrada del haz de partículas en la región de medición y controlar las desviaciones del haz de partículas de modo que una parte predeterminada (A, B) de la distribución angular (39) de las partículas que forman el haz de partículas atraviese la entrada de la región de medición, en donde se registran sucesivamente una serie de partes predeterminadas diferentes. |
