| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR ALIGNING SUBSTRATES |
| 摘要 |
본 발명은 복수의 검출 유닛뿐 아니라 대응하는 장치를 이용한 제1 기판(15)과 제2 기판(15')의 정렬 및 접촉 방법과 관련된다. |
| 申请公布号 |
KR101708143(B1) |
申请公布日期 |
2017.02.17 |
| 申请号 |
KR20157035637 |
申请日期 |
2013.06.17 |
| 申请人 |
에베 그룹 에. 탈너 게엠베하 |
发明人 |
탈너, 에리히 |
| 分类号 |
H01L21/68;H01L21/66;H01L21/67;H01L23/544 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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