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미소기계식 회전 속도 센서는, 베이스 표면이 데카르트 좌표계 (x, y, z) 의 x-y 평면에 평행하여 정렬되는 기판을 포함하고, 상기 회전 속도 센서는, 적어도 하나의 제 1 구동 장치 (23) 에 연결되어 매달려진 (3, 4) 적어도 하나의 제 1 진동 매스 및 제 2 진동 매스 (1) 를 포함하고, 제 1 진동 매스 및 제 2 진동 매스 (1) 가 일 구동 모드에서 역위상으로 편향되도록 구동되고, 상기 회전 속도 센서가 적어도 2 개의 상호 본질적으로 직각인 감도축 (z, y) 에 대한 회전 속도를 감지할 수 있도록 설계되고, 제 1 감도축 (y) 에 대한 제 1 회전 속도가 감지될 때, 제 1 판독 모드에서 역위상으로 진동하도록 적어도 제 1 진동 매스 및 제 2 진동 매스 (1) 가 설계되어 매달려지고, 제 2 감도축 (z) 에 대한 제 2 회전 속도가 감지될 때, 제 2 판독 모드에서 역위상으로 진동하도록 제 1 진동 매스 및 제 2 진동 매스 (1) 및/또는 추가의 진동 매스 (10) 가 설계되어 매달려지고 (5, 7, 9, 11), 진동 매스 (1, 10) 는 진동 매스 (1, 10) 에 관하여 설계되어 배열되는 판독 장치 (15, 16, 17, 18, 19, 20, 21, 22) 와 관련되고, 각각의 경우에서, 동위상으로, 그리고 역위상으로, 제 1 판독 모드 및 제 2 판독 모드에 관하여 진동 매스 (1, 10) 의 편향을 감지한다. |
