| 摘要 |
従来、微細な溝や穴（以下、トレンチと略す場合がある。）が存在する被めっき基体のトレンチに電解銅めっきによって銅を埋め込む場合、ボイドの発生やトレンチ以外への銅の析出が問題となっていた。本発明は上記問題を解決するため、下記一般式（１）または下記一般式（２）で表される高分子化合物から選ばれる少なくとも１種の、２０，０００〜１０，０００，０００の重量平均分子量を有する高分子化合物からなる電解銅めっき浴用添加剤を提供する。（式中、Ｘは特定の構造で表されるユニットから選ばれる少なくとも１つのユニットを表し、ａ及びｂの比率はａ：ｂ＝１０：９０〜９９：１の範囲内である。） |
