| 摘要 |
【課題】六方晶基板を用いた機能素子およびそれを制御良く分割する製造方法を提供する。【解決手段】窒化物半導体発光ダイオード素子１は、［１１−２０］方向に平行な２つの辺Ｓ１およびＳ２と、［１−１００］方向に平行な２つの辺Ｔ１およびＴ２とを備える。辺Ｓ１、Ｓ２、Ｔ１、Ｔ２は、複数の改質部３４、３６をそれぞれ切断のきっかけ（分割容易部）として分割されており、辺Ｓ１、Ｓ２を構成する２つの分割面４４ａ、４４ｂは、改質部３４から［０００１］方向に対して［１−１００］方向とは反対方向に向かって５度以上１０度以下で傾斜している。【選択図】図２ |
