| 摘要 |
【課題】 低真空環境下でのイオンフィードバックを効果的に抑制するための構造を備えた荷電粒子検出器等を提供する。【解決手段】 ＭＣＰユニット２００の出力面２００ｂ側に、それぞれ電気的に絶縁された第１電極３００と第２電極４００が配置される。第１電極３００の電位は、電子などの負電荷粒子を捕獲するため、ＭＣＰユニット２００の出力側電位よりも高く設定される。一方、第２電極４００の電位は、電子イオン化により生成された正イオンなどの不要な正電荷粒子を捕獲するため、ＭＣＰユニット２００の出力側電位よりも低く設定される。これにより、ＭＣＰユニット２００へのイオンフィードバックが効果的に抑制される。【選択図】図２ |
