弾性波素子用複合基板および弾性波素子

摘要

弾性波素子用複合基板は、支持基板１、および支持基板１に接合され、圧電単結晶からなり、弾性波を伝搬させる伝搬基板３を備えている。伝搬基板３が、前記圧電単結晶の結晶格子が歪んでいる表面格子歪み層１１を有する。