摘要 |
진동자를 구비하는 미세유체 소자를 제공한다. 본 발명에 따른 진동자를 구비하는 미세유체 소자는 베이스층, 베이스층 상에 배치되고, 미세입자 분산액이 주입되는 주입유로, 주입유로에 연결된 목표입자 분리유로 및 주입유로와 목표입자 분리유로의 연결지점에 배치된 필터를 포함하는 유로 형성층, 주입유로에 미세입자 분산액을 제공하는 주입관 및 주입관에 결합된 진동자를 포함한다. 따라서, 분산액 및 분산액 내의 미세입자에 직접 진동을 가하여 유체의 원활한 흐름을 확보함으로써, 목표 입자의 순도 및 처리량을 향상시킬 수 있다. 나아가, 특히 세포와 같이 변형이 가능하여 유실가능성이 높은 입자의 경우에도 처리량을 향상시킬 수 있는 미세유체 소자를 제공할 수 있다. |