| 摘要 |
【課題】ＣＯ２などの干渉成分が大きく変化するような環境下でも、被測定雰囲気中の水分量を正確に計測できるようにする。【解決手段】被測定雰囲気に晒される第１の空間３−１に計測用の感熱抵抗素子（計測用センサ）１を配置し、乾燥状態に保たれた第２の空間３−２に参照用の感熱抵抗素子（参照用センサ）２を配置する。第１の空間３−１および第２の空間３−２に並設して第３の空間３−３を設け、第３の空間３−３に干渉ガス検出用の感熱抵抗素子（干渉ガス検出用センサ）７を配置する。第３の空間３−３に低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を素材とするフィルタ８を通して被測定雰囲気中のＣＯ２などの非極性分子ガス（干渉ガス）を入り込ませる。計測用センサ１、参照用センサ２、干渉ガス検出用センサ７の抵抗値の変化に基づいて、干渉ガスによる誤差が除去された被測定雰囲気中の水分量を求める。【選択図】 図１ |
