接触力センサ

摘要

感度及び精度が高い接触力センサ及びその接触力センサの製造方法を提供する。接触力センサ５は、シリコン半導体材料を加工することによって作製される。接触力センサ５は、ベース部６１１と、このベース部６１１と直交する方向に形成された接触力伝達部６１２とを有するセンサ構成体６を備えている。センサ構成体６におけるベース部６１１に形成され、前記接触力伝達部６１２の変位を電気信号に変換する応力電気変換素子７を備えている。