| 摘要 |
【課題】多結晶シリコンを破砕した際に発生するシリコン微粒子を、粉塵爆発させることなく、安全に空気輸送ないし集塵するための技術を提供すること。【解決手段】本発明では、多結晶シリコンを破砕した際に発生するシリコン粉塵を捕集するに際し、破砕場所からダクト内を空気輸送されたシリコン粉塵を湿式のスクラバーに導き、先ず、該スクラバー内でシリコン粉塵に水噴霧して水中に沈降させる（第１の工程）。その後に、輸送空気を強制的に湾曲させる空気抵抗部に導いて輸送空気中のシリコン粉塵を該空気抵抗部で捕捉する（第２の工程）。例えば、サイロ１０の上部（排出口近傍）に、輸送空気を強制的に湾曲させる空気抵抗部１５を設け、この空気抵抗部１５に輸送空気を導いて残余のシリコン粉塵を捕捉する。このような空気抵抗部１５を通過させた空気中に含まれるシリコン粉塵量は、０．０１ｇ/ｍ３未満となる。【選択図】図１ |
