| 摘要 |
【課題】 樹脂濃度を高くすることにより厚塗りが可能であり、密着性、塗工性、および現像性が良好なＭＥＭＳ用樹脂組成物を提供することを目的とする。【解決手段】 ラジカル重合性基を有する親水性樹脂（Ａ）、親水親油バランスが８〜２０の多官能（メタ）アクリレート（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）および溶剤（Ｄ）を必須成分として含有する樹脂組成物であって、その２５℃の粘度が２０〜１，０００ｍＰａ・ｓであり、（Ｄ）の含有量が１０〜５０重量％であることを特徴とするアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物を用いる。【選択図】 なし |
