感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、重合体及び化合物の製造方法

摘要

本発明は、下記式（１）で表される基を含む構造単位を有する重合体、感放射線性酸発生体、及び有機溶媒を含有する感放射線性樹脂組成物である。上記式（１）中、ＲＰは、水素原子又は１価の有機基である。＊は、結合手を示す。上記式（１）におけるＲＰが１価の有機基であり、この１価の有機基が非酸解離性基であることが好ましい。上記式（１）におけるＲＰが１価の有機基であり、この１価の有機基が酸解離性基であることも好ましい。