荷電粒子源及び荷電粒子ビーム照射装置

摘要

【課題】自重や加工によるたわみや歪みを抑制するとともに、熱膨張によるたわみや歪みを抑制する。【解決手段】荷電粒子ビームＩＢを引き出すための引出電極系６を有する荷電粒子源１００であって、引出電極系６が、複数個のビーム引出孔６１Ｈが形成された電極板６１を、荷電粒子ビームＩＢの引出方向に沿って複数配置して構成されており、電極板６１が、複数に分割された分割要素６１Ｅから構成されており、複数の分割要素６１Ｅの外周部に冷媒流通構造６３が設けられている。【選択図】図３