１３族窒化物単結晶の製造方法、および１３族窒化物単結晶の製造装置

摘要

【課題】クラックを低減する。【解決手段】１３族窒化物単結晶４０の製造方法は、溶解工程と、結晶成長工程と、を含む。溶解工程は、混合融液２４と、種結晶３０と、囲み部材９０と、を内側に保持した反応容器５２における混合融液２４中に、窒素を溶解させる工程である。混合融液２４は、アルカリ金属と１３族金属を含む。種結晶３０は、混合融液２４中に設置され１３族窒化物結晶からなり主面をｃ面とする種結晶である。囲み部材９０は、種結晶３０における側面の全領域を囲むように配置されている。結晶成長工程は、種結晶３０に１３族窒化物結晶３２を結晶成長させる。【選択図】図２