レシピセットの実行を同期化するためのシステム及び方法

摘要

【課題】レシピセットの実行を同期化するためのシステム及び方法を提供する。【解決手段】方法の１つは、コマンドコントローラによって、マスタコントローラにレシピセットを送信することと、マスタコントローラによって、レシピセットをプラズマシステムのサブシステムコントローラによる実行のために送信することとを含む。レシピセットをマスタコントローラからサブシステムコントローラに送信する動作は、クロック信号の第１のクロックサイクル中に実施される。方法は、コマンドコントローラによって、レシピイベント信号を生成することと、コマンドコントローラによって、レシピイベント信号をサブシステムコントローラに送信し、サブシステムコントローラによるレシピセットの実行の時間を示すことと、を含む。実行の時間は、第１のクロックサイクルに続く第２のクロックサイクル中に生じる。第２のサイクルは、上記クロック信号のサイクルである。【選択図】図１Ａ−１