| 摘要 |
【課題】有機シリコンがＳｉＯ２スートを形成する反応前に液化することを抑制し、反応の安全性および安定性を向上させて光ファイバ母材の製造方法を提供する。【解決手段】気体もしくは霧状の有機シリコン１ａを含む原料含有ガス２ａに酸素ガス５ａを予混合する予混合工程と、原料含有ガス２ａに酸素ガス５ａが予混合された予混合原料ガス７ａと燃焼用ガス２４ａとをバーナに供給し、火炎中で反応させてＳｉＯ２スートを生成するスート生成工程と、を含む光ファイバ母材の製造方法において、有機シリコン１ａを含む原料含有ガス２ａに予混合用酸素ガス５ａを予混合する予混合工程では、予混合原料ガス７ａ中の有機シリコン１ａの量に応じて決定される有機シリコン１ａの液化温度以上の温度の酸素ガス（５ａ）を予混合する光ファイバ母材の製造方法。【選択図】図１ |
