| 摘要 |
二酸化珪素粉末を含む混合原料粉末を反応させて酸化珪素ガスを生成させる反応室と、この反応室内に上記混合原料粉末を供給する原料供給機構と、上記酸化珪素ガスを酸化珪素固体としてその表面に析出させる２つ以上の基体と、上記基体に酸化珪素固体を析出させる析出室と、上記酸化珪素ガスを上記反応室から上記析出室に搬送する搬送管と、回収室と、酸化珪素固体を析出させる基体を配置する準備室とを具備し、上記析出室と回収室とが回収室側ゲート弁を介して連結され、上記析出室と準備室とが準備室側ゲート弁を介して連結されている、酸化珪素の製造装置に関するものであり、本発明によれば、効率的かつ長期間安定的に、高純度の酸化珪素を連続的に製造することができる。 |
