| 摘要 |
【課題】チャンバの気密性を向上させること。【解決手段】エッチングガスをプラズマ化させるチャンバ（１１）が、上部電極（４１）を備える上部チャンバ（１５）と、ウエーハ（Ｗ）を保持する保持テーブル（３３）を備える下部チャンバ（１６）と、下部チャンバから上部チャンバを片側開閉式で開閉可能にする開閉手段（２）と、を備え、開閉手段は、上部チャンバを下部チャンバから片側開閉させる軸となる旋回軸（２１）と、旋回軸と共に上部チャンバを昇降可能にする昇降部（２２）と、を備え、上部チャンバを開閉する時、昇降部で旋回軸を昇降させて開閉する。【選択図】図４ |
