| 摘要 |
【課題】短時間にかつ的確に欠陥を測定したり判別したりできる欠陥検出装置を提供する。【解決手段】被撮像体を撮像する第１の撮像系を有する第１の撮像装置（ラインセンサカメラ）２１０と、第１の撮像系と異なる第２の撮像系を有し被撮像体を撮像する第２の撮像装置（共焦点顕微鏡）２５０と、第１の撮像装置２１０によって被撮像体の撮像対象領域を撮像した撮像結果に基づいて被撮像体の欠陥の位置を取得する第１の取得処理と、位置を取得した欠陥の高さ方向の情報を第２の撮像装置２５０によって取得する第２の取得処理とを実行する欠陥情報取得装置と、を備える。【選択図】図２ |
