| 摘要 |
【課題】ラジエータに冷却能力の低い安価なものを使用しても、真空ポンプにより所望の真空引き能力を短時間で発揮させる。【解決手段】装置本体内に、被滅菌物が収容されるチャンバー２と、チャンバー２に加熱された蒸気を供給する蒸気発生器５と、チャンバー２内を減圧する真空ポンプ８と、チャンバー２からの排気媒体を冷却するラジエータ７と、チャンバー２と真空ポンプ８とを、ラジエータ７を介して連通する第１経路と、チャンバー２と真空ポンプ８とを、ラジエ ータ７を介することなく連通する第２経路と、真空ポンプ８により、チャンバー２から第 １経路を介して排気させた後、第２経路に切り替えて排気させる制御部１０とを備える。【選択図】図２ |
