保護膜形成用フィルムおよび保護膜形成用複合シート

摘要

【課題】ウエハの反りを抑制すると共に、チップに信頼性の高い保護膜を形成できる保護膜形成用フィルムを提供すること。【解決手段】本発明に係る保護膜形成用フィルムは、熱硬化性を有し、熱硬化後のガラス転移温度が１５０〜３００℃であり、熱硬化後の２３℃における引張弾性率が０．５〜１０ＧＰａである。【選択図】図１