| 摘要 |
【課題】出力特性の非直線性を低減させることができる半導体物理量センサ装置を提供すること。【解決手段】センサ部１および特性補正回路３の高電位側と電源端子１１との間は、第１，３電源配線Ｓ１ａ，Ｓ１により接続される。増幅回路２および基準電圧回路４の高電位側と電源端子１１との間は、第２，４電源配線Ｓ２ａ，Ｓ２により接続される。センサ部１、増幅回路２、特性補正回路３および基準電圧回路４の低電位側は接地端子１３に接続される。第３電源配線Ｓ１にはＣＲフィルタ５が接続される。第４電源配線Ｓ２には、第１抵抗８が接続される。出力端子１２と接地端子１３との間には第２抵抗９が接続される。増幅回路２は、プッシュプル出力型オペアンプである。センサ部１の出力特性の非直線性を打ち消すよう、増幅回路２の出力特性を逆特性の非直線性にする第１抵抗８の抵抗値Ｒｓ２が設定される。【選択図】図１ |
