| 摘要 |
【課題】目盛誤差をより低減することができる温度補正方法、温度補正プログラム、温度補正装置、及び座標測定機を提供する。【解決手段】呼び寸法Ｌが異なる複数のワークの目盛誤差Ｅｃを得るステップと、ａｓをスケールの熱膨張係数、Ｌｗを測定した長さ、ｔｓを長さＬｗを測定したときの前記スケールの温度とした場合、下記式（１）及び（２）から、等価スケール温度係数誤差ｄｋｓとスケールオフセット誤差ｄｔｓ０を算出するステップとを備えることを特徴とする。ｄｋｓ＝（Ｅｃ２−Ｅｃ１）／ａｓ（Ｌｗ２−Ｌｗ１）（ｔｓ−２０）・・・（１）ｄｔｓ０＝（Ｅｃ１Ｌｗ２−Ｅｃ２Ｌｗ１）／ａｓ（Ｌｗ２−Ｌｗ１）・・・（２）【選択図】図２ |
