| 摘要 |
【課題】高品質かつ低コストで、光取り出し効率が高い窒化物半導体発光ダイオードを提供する。【解決手段】異種基板１と、第１のIII族窒化物半導体層２と、酸化物又は窒化物で構成され、周期的なパターンを形成したマスク３と、マスク３越しに第１のIII族窒化物半導体層２の上にエピタキシャル成長した第２のIII族窒化物半導体層４と、第１の導電型窒化物半導体層１１、第２の導電型窒化物半導体層１３及び電極１４、１５を有する発光構造１０と、を有し、発光構造１０の発光波長をλとすると、マスク３のパターンの周期は０．８５λ以上１．１５λ以下であり、パターンが周期性を備える方向のマスク３の幅は０．２５λ以上０．６０λ以下であり、マスク３の厚さは０．１５λ以上０．７０λ以下、又は、１．２５λ以上１．８０λ以下である窒化物半導体発光ダイオード１００。【選択図】図１ |
