| 摘要 |
【課題】簡単な構造で被検査物の固定を可能とし、その被検査物の電気回路を表裏両面で同時に導通検査等することができる検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】被検査物１の表面１ａ及び裏面１ｂのそれぞれに設けられた表面電極１１及び裏面電極１２を通じて、被検査物１の電気的特性を測定するための検査装置１０であって、被検査物１を位置決めするガイド台２と、その被検査物１の表面電極１ａに接触して電気的特性を測定する複数の第１プローブ３と、被検査物１の裏面電極１２に接触して電気的特性を測定する第２プローブ５とを備え、ガイド台２に載せられた被検査物１の表面電極１１に接触させる第１プローブ３の総接触荷重よりも小さい総接触荷重で第２プローブ５を裏面電極１２に接触させる両面回路基板の検査装置によって上記課題を解決する。【選択図】図１ |
