| 摘要 |
【課題】少量のデータで所望のプロセス条件における輪郭を高精度で抽出することができるパターン輪郭抽出装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、パターン輪郭抽出装置２０は、読み込み手段と、輪郭抽出手段と、重ね合わせ手段と、変動量算出手段と、対応情報算出手段と、輪郭算出手段と、を備える。変動量算出手段は、重ね合わせた複数の輪郭と交差する直線状の測定線を設定し、測定線上の測定点を基準とした、測定線と各輪郭との各交点の測定線上での変動量を算出する。対応情報算出手段は、プロセス条件と変動量との間の関係を示す変動量−プロセス条件対応情報を、測定線ごとに算出する。輪郭算出手段は、所望のプロセス条件に対応する測定点を基準とした測定線上での予測変動量を、変動量−プロセス条件対応情報から算出し、測定線上で測定点に予測変動量を加算した算出点を測定線ごとに算出し、算出点間を結んだ予測輪郭を算出する。【選択図】図１ |
