| 摘要 |
【課題】第１物体と、第１物体を内包する第２物体とを含む対象物体の形状を計測するのに有利な計測装置を提供する。【解決手段】第１物体と、第１物体を内包する第２物体とを含む対象物体の形状を計測する計測装置であって、第２物体を透過する光で照明された対象物体からの光を検出して第１物体の断面形状を示す第１データ及び第２物体の断面形状を示す第２データを含む形状データを取得するセンサと、第１物体の形状に関する既知のデータを取得し、既知のデータと形状データとを用いて形状データから抽出される第１データ及び第２データのそれぞれに基づいて、第１物体の形状のデータ及び第２物体の形状のデータをそれぞれ求める処理部と、を有する計測装置。【選択図】図１ |
