Prüfstation und Verfahren zur Prüfung von Testsubstraten unter Verwendung der Prüfstation

摘要

Prüfstation zur Prüfung von Testsubstraten (20), folgende Bauteile umfassend: – eine Chuckanordnung mit einer Aufnahmefläche (33) zur Aufnahme einer Mehrzahl von Testsubstraten (20), – eine Sondenhalterung zur Aufnahme von Sonden (34), welche eine Probecard (3) zur Aufnahme der Sonden (34) und einen Probecardhalter (1) zur Halterung der Probecard (3) umfasst, – zumindest eine Positionierungseinrichtung (32) zur Positionierung jedes Testsubstrats (20) in den drei Raumrichtungen X, Y und Z relativ zu den Sonden, – einen Schirm (5) aus elektrisch leitfähigem Material zur elektromagnetischen Abschirmung der Testsubstrate (20), – wobei der Schirm (5) zwischen der Sondenhalterung und den Testsubstraten (20) angeordnet ist und – wobei der Probecardhalter (1) und der Schirm (5) zueinander korrespondierende Durchgänge (4) aufweisen, durch welche die Sonden (34) jeweils ein Testsubstrat (20) kontaktieren, dadurch gekennzeichnet, dass – die Probecard (3) durch einen Probecardadapter (2) aufgenommen und adaptiert ist, so dass der Probecardhalter (1) die adaptierte Probecard (3) hält, – der Schirm (5) vom Probecardhalter (1) elektrisch isoliert ist – die Probecard (3) mittels des Probecardadapters (2) in dem Durchgang des Schirms (5) angeordnet ist und – der Probecardadapter (2) vom Probecardhalter (1) elektrisch isoliert und mit dem Schirm (5) elektrisch verbunden ist.