| 摘要 |
第２電極（１５０）は、基板（１００）上の引出配線に接続している。第２電極（１５０）上には、被覆膜（２１０）が形成されている。被覆膜（２１０）上には、導電膜（２２０）が形成されている。また、基板（１００）の一面側には、電極パッドが形成されている。電極パッドは、被覆膜（２１０）に設けられた開口を介して、導電膜（２２０）に接続している。そして、電極パッドにプローブ端子を接触させ、かつ引出配線のうち被覆膜（２１０）で覆われていない部分に別のプローブ端子を接触させた状態で、２つのプローブ端子の間に電圧を加える。 |
