| 摘要 |
【課題】半導体回路（発振用回路）を構成する静電容量素子とインダクタンス素子との電磁的な結合による発振周波数の変動を抑制可能な発振モジュールを提供する。【解決手段】発振モジュール１は、基板としての回路基板５と、回路基板に接続されている第１回路部３２と、回路基板に接続されている第２回路部６０と、を備え、第１回路部は、半導体基板の主面に設けられている半導体回路と、導電性の薄膜を有し、半導体基板の主面側に配置されている薄膜回路素子と、を有し、半導体回路は、平面視で、薄膜回路素子と半導体基板の外周部との間に設けられている。【選択図】図１ |
