摘要 |
基板109と、基板109の上面に形成され、基板109の上面における一部の領域を囲繞し、一部の領域を露出させるための開口部106を規定する隔壁105と、一部の領域における領域を避けて形成され、領域の周囲に配置された親液層108と、開口部106内に形成され、領域の少なくとも一部および親液層108の上面に被着された半導体層107と、半導体層107を平面視した場合に、親液層108と重ならない領域において半導体層107に接触する一対の電極104Dと、を備え、開口部106の開口側面は撥液性を有し、親液層108の上面は、基板109の上面よりも高い親液性を有する。 |